空圧まめ知識 空気清浄度と許容粒子濃度

空気清浄度・許容粒子濃度とは、一定の空気体積中に含まれる汚染物(粒子)の大きさと数を表したものですが、各規格により表現方法が異なるので注意が必要です。
例) ISO14644-1の場合 :クラスX → 10X個/m3 X:1~9、≧0.1μm
  Fed.Std.209Dの場合 :クラスX → X個/ft3 X:1~100000、≧0.5μm
空気清浄度と許容粒子濃度
空気清浄度規格 指定粒径以上の許容粒子濃度(個/m3)
ISO14644-1 F.S.209D 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm
ISOクラス1   10 2      
ISOクラス2   100 24 10 4  
ISOクラス3 クラス1 1,000 237 102 35 8
ISOクラス4 クラス10 10,000 2,370 1,020 352 83
ISOクラス5 クラス100 100,000 23,700 10,200 3,520 832

※数値はISO14644-1のもの