高精度温度制御装置

ペルフレッシュ®

高精度温度制御装置 ペルフレッシュ®

機種

電源ユニット:APE-01FM-DA / APE-02FM-DA / APE-03FM-DA

冷熱ユニット:APE-01FM-AW


恒温チャンバー天井搭載タイプの局所精密空調機です。
搭載型のためフロアスペースが不要で、高精度恒温エアーを直接ユースポイントへ供給できます。


  • 電子冷熱方式 / 水冷式
  • 制御精度 ±0.05℃
  • 温度制御範囲 20.00~25.00℃
  • 送風量 1.5~2.5m3/min

特長

  • 電子冷凍式で省エネルギー運転を実現(ヒータレス)。
  • 装置に搭載できるコンパクトな冷熱ユニット。
  • 装置に搭載することによりフロアスペースが不要。
  • 最大3スポットの独立温調が可能(APE-03FM-DA)。

用途例

  • 半導体フォトリソ工程の高精度温度制御
  • 液晶製造工程の高精度温度制御
  • 保管庫の温調

仕様

仕様表

高精度温度制御装置 ペルフレッシュ® 仕様表

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温度制御範囲表
高精度温度制御装置 ペルフレッシュ®/温度制御範囲表
オプション
高精度温度制御装置 ペルフレッシュ®/オプション

外形図

高精度温度制御装置 ペルフレッシュ®/外形図