ペルチェ温調方式で高精度と省エネを実現するナノサーモ®(圧縮空気温度調節機)

圧縮空気冷却装置 ナノサーモ® ACU

圧縮空気冷却装置 ナノサーモ® ACU
ACU2000B
ACUコントローラ部

コントローラ部

設定状態表示ランプ

設定値表示部

運転ランプ

ON/OFFスイッチ

各種設定キー部

ACU100-MD / ACU300-MD / ACU600-MD / ACU1000B / ACU2000B


電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより、高精度温調が可能。
超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、母機の性能を最大限発揮します。

  • 制御精度 ±0.01℃
  • 温度制御範囲 15.00~40.00℃
  • 処理空気量 30~2,100L/min

特長

高精度制御を実現

電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより高精度温調が可能。

低振動、低騒音

コンプレッサ搭載の冷凍方式と違い、ペルチェ素子による電子冷凍は動力部の振動が極めて少ないため、微細加工での位置決め精度に与える振動・騒音の影響を最小限にすることができます。


  1. エアー温度を±0.01℃に制御。
  2. ACU100-MD・ACU300-MD・ACU600-MDは除湿機能付で圧力調整も可能。
  3. コンパクト設計で省スペースを実現。

用途例

精密加工機のエアーベアリング


三次元測定器のエアースライド

  • 精密加工機
  • 精密計測機
  • 半導体・FPD製造装置
  • 分析機器
  • 精密塗装機
  • 局所空間の精密温調
  • 加工物・計測物の温調

仕様

ACU100-MD ACU300-MD ACU600-MD ACU1000B ACU2000B
適用流体 圧縮空気
使用範囲 使用圧力範囲
(ゲージ圧)
MPa 0.2~0.85 0.2~0.83
出口圧力調整範囲
(ゲージ圧)
MPa 0.05~0.83 -
入口空気温度 5~40 15~35 15~30
出口温度設定範囲 16~30 15~35 15~40
出口空気流量 L/min 30~130
※2
50~390
※3
130~600
※3
130~1000
※3
330~2100
周囲温度 18~25
入口空気水蒸気含有量 飽和以下 圧力下10℃以下
基本性能 出口空気露点(大気圧下) -17以下 ※4 -
出口空気温度制御精度 ※1 設定値±0.01 ※1
条件 出口設定温度 23
入口空気温度 5~40 15~28
入口空気圧力
(ゲージ圧)
MPa 0.7
入口空気流量 L/min 125 375 750 1000 2100
出口空気流量 L/min 100 300 600 1000 2100
パージ空気流量 L/min 25 75 150 0 0
周囲温度 25
電気特性 電源 V(Hz) 単相100±10%(50/60) 単相200±10%(50/60)
最大運転電流 A 4 5
電源容量 kVA 0.4 0.5 1
遮断器容量 A 10
温度制御方式 ペルチェ式定電流制御(PID制御)
放熱方式 空冷式
除湿方式 中空糸膜式 -
出入口配管接続口径 Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2 Rc3/4
外装 塗装色:N5.5/N8.0
機器細目 エアーフィルタ・ミクロミストフィルタ・
膜式ドライヤー・レギュレータ・
フロースイッチ内蔵 ※5
フロースイッチ内蔵
質量 kg 28 36 38 35 45
外形寸法(高さ×奥行×幅) mm 490×500×240 510×550×320 530×600×320
※1 出口空気流量、入口空気温度、周囲温度が安定状態で、急激な変動がない場合。(入口空気温度勾配:1℃ /10min以内)
※2 出口空気圧力が0.4MPa以上の場合、最低出口空気流量は45L/min以上で使用してください。
※3 入口空気圧力が0.25MPa以下の時、本機内圧力損失により、最大流量は次の様になります。ACU300-MD:270L/min、ACU600-MD:520L/min、ACU1000B:870L/min
※4 入口空気温度28℃時。
※5 フィルタを搭載しておりますが出口空気ろ過度を保証するものではありません。
※ 空気流量は、圧縮機の吸込状態(大気圧、20℃、65%)に換算した値です。
※ 詳細はお問い合わせより仕様書をお取り寄せの上、ご参照願います。
注)ACU600-MDは受注生産品です。