高精度水用温度調節機

ペルサーモ® (水冷式/水槽あり)

ペルサーモ®

機種 ETU201-VW / ETU302-VW / ETU702-VW


ペルチェ温調方式と定電流制御(電流値リニアPID制御)で、最大60%の省エネを実現。
省スペース設計:熱交換機・水槽・圧送ポンプを本体に内蔵。
特注対応で±0.01℃も可能。


  • 冷却能力 200~700W
  • 電子冷熱温調機 / 水冷式 / 水槽内蔵
  • 制御精度 ±0.03℃
  • 温度制御範囲 10.00~60.00℃
  • 受注生産品

用途

  • ウェハレジスト液の温調
  • エッチング液の温調
  • 光ディスク塗布液の温調
  • 液晶ガラス塗布液の温調
  • ウェハ、ガラス基板のプレート温調
  • ※薬液を温調する場合は間接温調にしてください。

仕様

仕様表

ETU201-VW ETU302-VW ETU702-VW
性能 適用流体 清水
温度制御範囲 ※1 10.0~60.0(但し結露なきこと)
温度制御精度 ±0.03
冷却能力 ※2 W 200 300 700
加熱能力 ※2 W 400 600 1,000
使用周囲温度範囲 10~35
放熱方式 水冷
運転制御方式 定電流制御
恒温水 ポンプ能力(50/60Hz) 5L/minにて7m/10m 10L/minにて5m/8m
水槽容量 L 1.2(開放) 2.0(開放)
出入口接続口径 Rc3/8
冷却水 使用温度範囲 10~35(但し結露なきこと)
使用流量 L/min 3~5 5~8
使用圧力 MPa 0.69
出入口接続口径 Rc3/8
電気特性 電源 V(Hz) 1φ AC100 ±10%(50/60) 1φ AC200 ±10%(50/60)
電流(50/60Hz) A 7.3/7.6 3.9/4.0 4.7/4.8
電源容量 kVA 0.8 1.0
外装 塗装色:マンセル値 N8.0/N5.5
製品質量 kg 20 25
外形寸法(W×D×H) mm 230×380×380 250×440×380
※1 負荷に急激な変動がない場合
※2 能力表示基準:恒温水温度23℃、放熱水温度23℃、放熱水流量5L/min、周囲温度25℃での運転時
※3 仕様範囲内での最大値

外形図

ペルサーモ®/外形図


高精度水用温度調節機

ペルサーモ® (空冷式/水槽あり)

ペルサーモ®

機種 EKS250-G2


±0.05℃以内の高精度液温制御を実現しました。


  • 冷却能力 250W以上
  • 電子冷熱温調機 / 空冷式 / 水槽内蔵
  • 制御精度 ±0.05℃
  • 温度制御範囲 15.00~30.00℃

用途

  • YAG レーザマーカ、トリマー用チラー
  • LD 式印刷機用チラー
  • 理科学用高精度チラー

仕様

仕様表

EKS250-G2
性能 適用流体 清水・蒸留水
温度制御範囲 15~30
温度制御精度 ※1 ±0.05
制御方式 電子冷凍・PID制御オートチューニング
冷却能力 ※2 W 250以上
循環量(揚程) L/min 1.2(35m)
電気特性 使用周囲温度範囲 10~35
電源 V(Hz) 単相200~240±10%(50/60)
最大運転電流 A 5.0
電源容量 kVA 1.5
遮断器容量 A 10
放熱方式 空冷
水槽容量 L 0.5
質量 ※3 kg 35
外形寸法(高さ×奥行×幅) mm 595×456×327
※1 周囲温度25℃、水温25℃時で負荷安定時(条件により異なります)。
※2 周囲温度25℃、水温25℃時(条件により異なります)。
※3 ドライの状態時。

冷却能力曲線

ペルサーモ®/冷却能力曲線

外形図

ペルサーモ®/外形図


水用温度調節機

ペルサーモ® (水冷式/水槽なし)

ペルサーモ®

機種 ETS101 / ETS202


ペルチェ温調方式を採用。
熱電冷却・加熱による±0.1℃(特注対応で±0.01℃も可能)の高精度な温度制御と業界最小の小型化を実現。
半導体、液晶、光ディスク、バイオ関連等に最適です。


  • 冷却能力 104~232W
  • 電子冷熱温調機 / 水冷式 / 水槽なし
  • 制御精度 ±0.1℃
  • 温度制御範囲 10.00~50.00℃

用途

  • ウェハレジスト液の温調
  • エッチング液の温調
  • 光ディスク塗布液の温調
  • 液晶ガラス塗布液の温調
  • ウェハ、ガラス基板のプレート温調
  • ※薬液を温調する場合は間接温調にしてください。

仕様

仕様表

ETS101 ETS202
性能 適用流体
温度制御範囲 10.00~50.00
制御精度 ±0.1(無負荷、安定時)※特注にて±0.01対応も可能
制御方式 電子冷凍・PID制御オートチューニング、デジタル表示4桁(最小行0.01℃)制御用温度センサ:Pt100Ω
冷却能力(50/60Hz) ※1 W 116/104 232/220
循環量(揚程) 耐水圧:0.2MPa、流量:5L/min(5.9/9.0m)
使用周囲温度範囲 2~35
出口・入口接続部 Rc3/8
電気特性 電源 V(Hz) 単相100(50/60) 単相200(50/60)
最大運転電流 A 5.5 5
電源容量 kVA 0.6 1
遮断器容量 A 10
放熱水 水量 L/min 3~10
耐水圧 MPa 0.4
接続口 Rc3/8
接液部材質 恒温水 特殊グラファイト、PP、NBR、POM
冷却水 特殊グラファイト, POM, NBR
保護装置 ※2 Alarm:1.サーモモジュール断線、2.Pt100Ω短絡、断線、3.放熱異常(電源、熱交換器)、4.温度上下限警報
構成 電源ユニット 冷熱ユニット 電源ユニット 冷熱ユニット
型式 ETS101-DR-B-G1 ETS101-N-G1 ETS202-DR-B-G1 ETS202-N-G1
質量 kg 約4.3 約9.5 約5.5 約10
セット質量 kg 約13.8 15.5
外形寸法(高さ×奥行×幅) mm 電源ユニット(ETS101/202-DR-B):127×340×150
冷熱ユニット(ETS101/202-N):262×340×150
※1 設定温度20℃、冷却水温20℃、冷却水量5L/min、恒温水量5L/min。
※2 保護装置作動時4.のみ運転継続。その他は運転停止。

冷却能力曲線

ペルサーモ®/冷却能力曲線

外形図

ペルサーモ®/外形図