薬液用温度調節機

ケミカルペルサーモ®

ケミカルペルサーモ®

機種
ETN23A-N / ETN45A-N / ETN90A-N /
ETD232-SA-A-G2 / ETD452-SA-G2 / ETD832-SA-G2


ウェットプロセスに欠かせない薬液をダイレクトに温調できる高精度温調ユニットです。
接液部オールテフロンの熱交換器採用により各種薬液に対応可能です。


  • 冷却能力 約280~920W
  • 電子冷熱温調機 / 水冷式 / 水槽なし
  • 制御精度 ±0.1℃
  • 温度制御範囲 15.00~50.00℃

特長

  • 高精度な温度制御と高耐水圧の熱交換器の実現
    ±0.1℃の制御と0.3MPaの耐水圧構造
  • 薬液のダイレクト温調
  • コンパクトで業界最軽量・専用スイッチング電源を採用

仕様

仕様表(冷熱ユニット)

ETN23A-N ETN45A-N ETN90A-N
適用流体 ※1 DIW/DHF/BHF/FPM/SC1
性能 温度制御範囲 15~50(50以上についてはご相談ください)
制御精度 ±0.1(条件によって異なる)
冷却能力/加熱能力 ※2 W 約280/約600 約460/約1,000 約920/約2,000
放熱(冷却)方式 水冷式
制御用温度センサ Ω Pt100(JIS0.2級)テフロンモールド(オプション)
機内圧力損失(薬液側) MPa 0.01以下(流量15L/min) 0.02(流量15L/min時)
機内耐圧(薬液側) MPa 0.3
使用周囲温度範囲 15~35
薬液側出口・入口接続部 3/4”×5/8”×L150(New PFA)
放熱水 水量 L/min. 5~7
接続口 3/8”×1/4”×L150(PFA)
熱交換
接液部
材質
薬液側 PTFE, New PFA
冷却水側 グラファイト, PPE, SUS316, PFA, NBR SUS304, 316, PFA
外装 硬質PVC
質量 kg 約10 約14 約28.5
外形寸法(高さ×奥行×幅) mm 220×330×147 260×530×145
※1 濃度及び記載以外の薬液についてはご相談ください。(濃度によっては使用できない場合もございます。)
※2 設定温度25℃、放熱水25℃、放熱水量5~7L/min、周囲温度25℃時。

仕様表(電源ユニット)

ETD232-SA-A-G2 ETD452-SA-G2 ETD832-SA-G2
入力電流(AC208V)時 A 最大約4.5 最大約9 最大約17
電源 V(Hz) 単相200~240(50/60)
制御方式 PID制御 オートチューニング
保護装置 ※3 Alarm:1.サーモモジュール断線2.Pt100Ω短絡、断線3.放熱異常(電源、熱交換器)4.温度上下限警報
質量 kg 約5.0 約10 約18
外形寸法(高さ×奥行×幅) mm 165×430×140 215×460×165 305×470×240
※3 保護装置作動時、「4.温度上下限警報」のみ出力継続、他は運転停止。

外形図

ケミカルペルサーモ®/外形図